Script: /index.php?ID=478
Query: INSERT INTO counter_05 VALUES(0,'2001253','2017-05-25','107.22.26.172','2jerrgki67svorhge90ngjvlr0')
Error number: 1062
Error description: Duplicate entry '943181' for key 'PRIMARY'
Techniky depozície tenkých vrstiev
HomePrint version English version

Techniky depozície tenkých vrstiev


Základom prípravy tenkých vrstiev je depozícia látky z plynného stavu na substrát. Techniky prípravy rozdeľujeme na:
• chemické a
• fyzikálne

Ku chemickým metódam patria metódy: 

K najznámejším fyzikálnym metódam patria:

Spoločným znakom týchto metód je depozícia pri zníženom tlaku, čo uľahčuje transport častíc nanášanej látky na substrát.

linky Slovensko


Autor: Valeriánová M., Elektrotechnický ústav SAV