HomePrint version English version

Techniky depozície tenkých vrstiev


Základom prípravy tenkých vrstiev je depozícia látky z plynného stavu na substrát. Techniky prípravy rozdeľujeme na:
• chemické a
• fyzikálne

Ku chemickým metódam patria metódy: 

K najznámejším fyzikálnym metódam patria:

Spoločným znakom týchto metód je depozícia pri zníženom tlaku, čo uľahčuje transport častíc nanášanej látky na substrát.

linky Slovensko


Autor: Valeriánová M., Elektrotechnický ústav SAV